从追赶到引领，ITO靶材产业的破局之路

羊城晚报全媒体记者 李程 梁辉森 通讯员 梁晔

从追赶到引领，短短数年，先导薄膜材料有限公司(以下简称“先导薄膜”)完成了一场令人瞩目的行业逆袭，在全球ITO靶材行业实现“遥遥领先”，补齐了国内行业技术和产能的短板。

据了解，先导薄膜主要从事陶瓷靶材和金属靶材产品的研发、生产和销售，是先导科技集团下属子公司。该公司是国内首批进入磁存储靶材领域的供应商，也是国内率先交付G4.5代AMOLED高迁氧化物靶材、率先实现高世代液晶显示面板用ITO靶材量产的企业。当前，该公司ITO靶材全球市场占有率超三成，产能跃居全球第一，客户涵盖京东方、TCL华星光电、三星、LG等全球知名厂商。

走好“突围路”，打破ITO靶材国外垄断

ITO靶材是一种透明电极薄膜材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性，常用于显示面板、触摸面板、太阳能电池等的制造，同时在智能建筑与汽车等领域也具有广泛应用。

以前，国内ITO靶材只能依赖外国进口。2014年以来，国内企业开始涉及这一领域，但大多只能制备低端ITO靶材，能制备高端ITO靶材的企业较少，主要的市场份额依然由国外企业掌控。因此，打破国外ITO靶材制备技术垄断、实现高端ITO靶材的国产化、保证国内显示产业关键原材料的稳定供应，迫在眉睫。

先导薄膜基地负责人胡智向介绍，开展ITO靶材研发后，公司两条腿走路，一方面通过外延式扩张，不断扩充实力；另一方面持续加大投入，形成以自主研发为引领的研发模式，使得公司技术水平和研发实力实现了连续高水平跃升。

研发过程中，ITO靶材尺寸和致密度是两大关键难题。“公司积极与高校合作交流，引进技术人才，提升创新能力。”胡智向表示，公司还与设备厂商合作，设计和开发新型大尺寸高精度气氛烧结设备，通过大量实验和数据分析，找到工艺突破点。

经过不懈努力，先导薄膜在ITO靶材技术研发上取得了众多独特的技术创新和专利成果。在纯度提升方面，采用化学沉淀和电化学提纯方法提高原料纯度；在制备高密度大尺寸靶材上，运用新型大型成型设备和先进的烧结技术。这些创新成果不仅提高了产品质量，更增强了核心竞争力。

2020年5月，先导薄膜G4.5代线镧系稀土掺杂金属氧化物靶材成功交付给华星光电，标志着在高迁移率氧化物靶材领域取得重大技术突破。

走好“协同路”，取得多项先进成果

“公司的发展离不开当地的支持。”胡智向介绍，清远市开展的先进制造业和高技术制造业企业扶优计划，推动公司向做强做优做大的方向发展。

在清远市的支持下，先导薄膜建立了省市两级工程中心、企业技术中心、广东省高性能溅射靶材技术与应用企业重点实验室等平台，助力ITO靶材产品于2019年通过重点新材料首批次应用保险补偿试点项目，并于2023年入选广东省制造业单项冠军产品。当前，ITO靶材在该公司产品体系中占据核心地位，是核心技术产品。

凭借卓越的产品品质，先导薄膜荣获中国有色金属工业协会科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖等多项荣誉。

在与广东省上下游企业的合作上，先导薄膜形成了良好的协同发展模式。一方面，与上游的材料公司合作，通过增加订单、提高采购量，推动其扩大生产规模、提升产品质量和技术水平。另一方面，与下游企业如TCL华星光电技术有限公司紧密合作。此外，先导薄膜还与上下游企业开展协同创新，联合高校、科研机构共同参与重点研发计划项目。

2019年，先导薄膜与广州新视界光电科技有限公司、深圳市华星光电半导体显示技术有限公司、华南理工大学、广东省半导体产业技术研究院共同参与广东省重点研发计划项目——“薄膜晶体管用高迁移率氧化物半导体溅射靶材研究及应用”，获得了省级支持。经过项目团队的辛勤努力，该项目已成功验收，取得了薄膜晶体管用高迁移率氧化物半导体溅射靶材等先进成果。

走好“提升路”，增强企业核心竞争力

如今，先导薄膜已成为行业内的佼佼者，产品获得国内外客户和行业协会的高度认可。随着行业发展和技术进步，ITO靶材市场机遇与挑战并存。铟作为ITO靶材的核心原材料，资源稀缺且成本高，对大规模应用构成一定阻碍。如何提高ITO废料的回收和再利用技术以及无铟靶材等替代材料开发，成为行业关注的重点。

对此，胡智向介绍，公司将加大研发投入，基于“原料提纯－粉体合成－精密靶材制备”的优势，开发更多满足客户需求的新产品。“目前公司正在开展新型显示及异质结太阳能用TCO靶材技术改造等新型显示及光伏产业等项目，推动新型显示、新一代太阳能电池等应用，齐心协力建设广东省新型显示及光伏产业集群。”胡智向说。